昭和真空

６ 【研究開発活動】当社グループは、真空技術をベースにメカトロニクス・薄膜形成技術等の先端技術により、特に情報通信分野に適合した新製品の開発に注力するとともに、真空技術を要するマーケット動向を踏まえた要素技術、プロセス及び装置の開発を強化しております。また、大学等研究開発機関や企業の研究部門などと連携し、新技術や製品量産化技術などを対象とした開発活動も行っております。お客様の依頼に基づく受託実験に関しては、様々なタイプの実験装置を用意し、迅速かつニーズに応じた実験結果を提供することで、当社装置の販売につなげております。当連結会計年度における研究開発活動は次のとおりであります。 水晶デバイス装置5G、IoT、DXにAIが加わり、デジタル化の需要は依然として高度化しております。水晶デバイス分野では、小型化・高周波対応・オールクォーツパッケージなどを目的とした生産工程のウエハプロセス化が注目されています。2024年度の装置開発として取り組んだ新型トリミング装置が完成し、すでに水晶ウエハの平坦化用途で複数台の受注を獲得いたしました。当該装置は、他の用途への展開も期待できることから、2025年度には用途の拡大に向けた受託実験にも積極的に取り組む計画です。また、水晶デバイスの小型化に対応した装置改良と高周波化に向けた計測技術開発にも注力し、先端技術の確立を推進しております。 光学装置AR/VR/MR機器には、DOE(回折光学素子)をはじめ多くの光学部品が搭載されます。当社は早くからこれら光学部品への成膜技術開発に取り組み、DOE表面の選択面成膜技術を確立いたしました。2025年度にはエンドユーザー・生産メーカーと協業し、量産化に向けたパイロットラインの構築を目指してまいります。また、反射防止効果や親水などの特徴を持つガラスの表面加工を実現する装置の開発にも注力しており、2025年度に開催予定の技術交流会にて、量産型加工装置を発表する計画です。 電子部品・その他装置モバイル通信機器に用いられるSAW・BAWフィルタ生産ラインの効率化を目指した電極形成用蒸着装置、アッシング装置、トリミング装置の開発を継続しております。特にこの分野は、受託実験の需要が高く、2025年度には、受託実験の体制強化を目的にエッチング装置・スパッタリング装置を各1機種増設する計画です。 当連結会計年度における研究開発費の総額は、403百万円となっております。

６ 【研究開発活動】当社グループは、真空技術をベースにメカトロニクス・薄膜形成技術等の先端技術により、特に情報通信分野に適合した新製品の開発に注力するとともに、真空技術を要するマーケット動向を踏まえた要素技術、プロセス及び装置の開発を強化しております。また、大学等研究開発機関や企業の研究部門などと連携し、新技術や製品量産化技術などを対象とした開発活動も行っております。お客様の依頼に基づく受託実験に関しては、様々なタイプの実験装置を用意し、迅速かつニーズに応じた実験結果を提供することで、当社装置の販売につなげております。当連結会計年度における研究開発活動は次のとおりであります。 水晶デバイス装置5G、IoT、DXにAIが加わり、デジタル化の需要は依然として高度化しております。水晶デバイス分野では、小型化・高周波対応・オールクォーツパッケージなどを目的とした生産工程のウエハプロセス化が注目されています。それに伴い、新たな加工プロセスや装置のウエハ対応化に取り組んでおり、2024年度中にウエハ平坦化のための新型トリミング装置販売開始を計画しております。 光学装置AR/VR/MR機器には、DOE(回折光学素子)をはじめ多くの光学部品が搭載されます。当社は早くからこれら光学部品への成膜技術開発に取り組み、この成膜プロセスを実現する装置の開発に取り組んでおります。また、反射防止効果や親水などの特徴を持つガラスの表面加工を実現する装置の開発も行っており、2024年度中に量産型加工装置の販売開始を計画しております。 電子部品・その他装置モバイル通信機器に用いられるＳＡＷ・ＢＡＷフィルタ生産ラインの効率化を目指した電極形成用蒸着装置、アッシング装置、トリミング装置の開発を継続しております。特にこの分野は、受託実験の需要が高く、これら実験を通してカスタム性の高い装置の開発販売につなげております。 当連結会計年度における研究開発費の総額は、545百万円となっております。

６ 【研究開発活動】当社グループは真空技術をベースに、メカトロニクス・薄膜形成技術等の先端技術により、特に情報通信分野に適合した新製品の開発に注力するとともに、真空技術を要するマーケット動向を踏まえた要素技術、プロセス及び装置の開発を強化しております。また、お客様からの問い合わせに基づく依頼実験を多数、かつ迅速に行うため、研究開発用装置を新たに導入いたしました。これらの設備と蓄積してきた技術力を活かし、多くのお客様と共同開発に取り組み、着実に成果をあげております。2018年より、大学と共同研究開発に取り組んでまいりましたホール加速型イオンソースが完成し、2022年度から販売を開始いたしました。本イオンソースは、従来型に比べてコンパクトで高出力、かつグリッドレスにより低コストを実現するとともに、使用時の廃棄物削減にも寄与する製品となっております。また、光学薄膜形成装置Sapioシリーズにおいては、従来比約60％の電力使用量で同数のデバイス生産が可能となる装置の販売を開始するなど、環境に配慮した製品開発にも取り組みました。当連結会計年度における研究開発活動は次のとおりであります。 水晶デバイス装置5G、IoT、DXといったデジタル化の波に伴い水晶デバイスの需要は依然として高まり、更なる極小化と高周波化そして個々のデバイスに対するトレーサビリティが求められています。これらに対応するため、従来とは異なるプロセス開発に取り組むとともに、新市場にも対応しております。 また、AI技術を取り入れた制御技術開発にも継続して取り組んでおります。 光学装置メタバースに代表される仮想空間サービスの進展に伴い、スマートフォンやVR/AR機器に搭載されるオプトデバイスは高機能・高性能化が要求されています。お客様のニーズにマッチした高性能な光学薄膜形成装置を開発するため、新たな要素技術開発を行っております。また、ホール加速型イオンソースを用いた、新たなプロセス開発にも取り組んでおります。 電子部品・その他装置タブレット・スマートフォン等の移動体通信機器に用いられるSAW・BAWフィルター生産ラインの効率化を目指した電極形成用蒸着装置、アッシング装置、トリミング装置の開発を継続しております。また、電子部品の更なる高性能化・高精度化などに伴う装置開発ニーズを、依頼実験などを通じて取り込み、量産用装置の開発販売につなげております。 当連結会計年度における研究開発費の総額は、531百万円となっております。

５ 【研究開発活動】当社グループは真空技術をベースに、メカトロニクス・薄膜形成技術等の先端技術により、特に情報通信分野に適合した新製品の開発に注力しております。相模原工場に新たに建設し2020年３月に運用を開始した研究開発棟において、真空技術を要するマーケット動向を踏まえた要素技術、プロセス及び装置の開発を強化しております。また、お客様からの問い合わせに基づく依頼実験を多数、かつ迅速に行うため、研究開発用装置を新たに導入いたしました。これらの設備と蓄積してきた技術力を活かし、多くのお客様と共同開発に取り組み、着実に成果をあげております。2018年に着手したＩｏＴの要素を取り込んだ装置や設備の開発については、遠隔監視や予兆保全を可能とするシステムを2021年度から販売開始いたしました。また、光学用途向け制御システムを刷新しＤＸ化時代に対応いたしました。当連結会計年度における研究開発活動は次のとおりであります。 水晶デバイス装置５Ｇ、ＩｏＴ、ＤＸといったデジタル化の波に伴い水晶デバイスの需要は依然として高まり、更なる極小化と高周波化そして個々のデバイスに対するトレーサビリティが求められています。これらに対応するため、新たな要素技術開発（機構、制御、測定）に取り組み、新型装置に対応してまいります。また、ＡＩ技術を取り入れた制御技術開発にも継続して取り組んでまいります。 光学装置スマートフォンに搭載されるカメラは高機能・高性能化が進んでおり、使用されるマイクロレンズに対しても高性能化が要求されています。お客様のニーズにマッチした高性能なマイクロレンズ用反射防止膜形成装置を開発するため、下記の技術開発を行っております。① 新型イオンソース② 新型光学式膜厚計③ 省電化・省力化への挑戦（環境配慮型、ロボット化） 電子部品・その他装置タブレット・スマートフォン等の移動体通信機器に用いられるＳＡＷ・ＢＡＷフィルター生産ラインの効率化を目指した電極形成用蒸着装置、アッシング装置、トリミング装置の開発を継続しております。また、さらなる電子部品の小型・高精度化などに伴う装置開発ニーズを、依頼実験などを通じて取り込み、量産用装置の開発販売につなげてまいります。 当連結会計年度における研究開発費の総額は、583百万円となっております。

５ 【研究開発活動】当社グループは真空技術をベースに、メカトロニクス・薄膜形成技術等の先端技術により、特に情報通信分野に適合した新製品の開発に注力しております。相模原工場に新たに建設し2020年３月に運用を開始した研究開発棟において、真空技術を要するマーケット動向を踏まえた要素技術、プロセス、及び装置の開発を強化しております。また、お客様からの問い合わせに基づく依頼実験を多数、かつ迅速に行うため、研究開発用装置を新たに導入いたしました。これらの設備と蓄積してきた技術力を活かし、多くのお客様と共同開発に取り組み、着実に成果をあげております。2018年に着手したＩｏＴの要素を取り込んだ装置や設備の開発につきましては、遠隔監視や予兆保全を可能とするシステムを搭載した装置の販売を2021年度中に開始する予定です。また、ＡＩ技術の装置への応用に係る研究開発も開始いたしました。当連結会計年度における研究開発活動は次のとおりです。 水晶デバイス装置第５世代移動通信システムの普及に伴い水晶デバイスの需要は高まり、更なる小型化と高周波化そして個々のデバイスに対するトレーサビリティが求められています。これらに対応するため、新たな要素技術開発（機構、制御、測定）に取り組み、新型装置に搭載してまいります。有機ＥＬ用途向けに開発を進めている新方式による水晶膜厚計（ＣＯÅＴＬＥＡＤＥＲ）は、2021年度中の販売開始を予定しています。 光学装置スマートフォンに搭載されるカメラは高機能・高性能化が進んでおり、使用されるマイクロレンズに対しても高性能化が要求されています。お客様のニーズにマッチした高性能なマイクロレンズ用反射防止膜形成装置を開発するため、下記の技術開発を行っております。① 基板直接観測式光学モニタの搭載② ＲＦイオンソースの信頼性向上と性能向上③ 省力化・全自動化への挑戦（ロードロック式カルーセルスパッタ装置） 電子部品・その他装置タブレット・スマートフォン等の移動体通信機器に用いられるＳＡＷフィルター生産ラインの効率化を目指した電極形成用蒸着装置、アッシング装置、周波数調整装置の開発を継続しております。また、さらなる電子部品の小型・高精度化などに伴い必要となる装置開発ニーズを、依頼実験などを通じて取り込み、量産用装置の開発販売につなげてまいります。 当連結会計年度における研究開発費の総額は、430百万円となっております。

５ 【研究開発活動】当社グループは真空技術をベースに、メカトロニクス・薄膜形成技術等の先端技術により、特に情報通信分野に適合した新製品の開発に注力しております。当社グループの研究開発は要素技術、装置開発、プロセス開発を技術開発部が担当しております。一部門で行うことで、要素開発・装置開発とプロセスを直結し、開発効率を上げ、市場要望に対応した開発を図っております。また、重点開発には、これら基盤技術並びに装置開発について、市場要請に迅速に対応するため、技術部門を中心としたメンバーから構成される社内横断的プロジェクト制を導入して、速やかに研究開発を推進しております。また、お客様からの問合せや依頼実験への対応力を強化するために相模原工場に新たに研究開発棟を建設しました。2018年度から始めたインダストリー4.0による新サービス提供の為の取り組みは社内での運用を開始しました。当連結会計年度における研究開発活動は次のとおりです。 水晶デバイス装置スマートフォン等の高性能化に伴う水晶振動子の極小化に向けて、搬送・測定・調整ユニットの開発を進めています。又ウェハー状の周波数調整技術の開発を行い、既存の個片処理に比べてスループットの増大を実現します。 新方式による水晶膜厚計（ＣＯÅＴＬＥＡＤＥＲ）は、新たに有機EL用途の開発を行い2020年度中の販売を予定しています。 光学装置スマートフォン等に搭載されているカメラモジュール等の光学部品分野における光学薄膜形成用真空蒸着装置におきまして、高品質の膜質を提供する蒸着装置として改良を加え、低価格のＡＲ専用蒸着装置、量産型フィルター用光学蒸着装置を販売しております。① 基板直接観測式光学モニターの装置展開② ＲＦイオンソースの着火性/メンテナンス性改善③ 省力化・全自動化への挑戦（ロードロック式カルーセルスパッタ装置） 電子部品・その他装置タブレット・スマートフォン等の移動体通信機器に用いられるSAWフィルター生産ラインの効率化を目指し、電極形成用蒸着装置、アッシング装置、周波数調整装置の開発も継続して進めています。生産ラインのひとつであるSiO2埋め込み用スパッタ装置は、全面見直しを行い引き続き開発を進めています。 当連結会計年度における研究開発費の総額は、372百万円となっております。

５ 【研究開発活動】当社グループは真空技術をベースに、メカトロニクス・薄膜形成技術等の先端技術により、特に情報通信分野に適合した新製品の開発に注力しております。当社グループの研究開発は要素技術、装置開発、プロセス開発を技術開発部が担当しております。一部門で行うことで、要素開発・装置開発とプロセスを直結し、開発効率を上げ、市場要望に対応した開発を図っております。また、重点開発には、これら基盤技術ならびに装置開発について、市場要請に迅速に対応するため、技術部門を中心としたメンバーから構成される社内横断的プロジェクト制を導入して、速やかに研究開発を推進しております。2018年度からはインダストリー4.0による新サービスの提供のための取り組みにも着手しました。当連結会計年度における研究開発活動は次のとおりです。 水晶デバイス装置スマートフォン等の高性能化に伴う水晶振動子の極小化に向けて、搬送・測定・調整ユニットの開発を進めています。ウェハー状の周波数調整技術の開発を行い、既存の個片処理に比べてスループットの増大を実現します。また、新方式による水晶膜厚計（ＣＯÅＴＬＥＡＤＥＲ）は、新たに有機ＥＬ用途の開発を行い、2020年度中の販売を予定しています。 光学装置スマートフォン等に搭載されているカメラモジュール等の光学部品分野における光学薄膜形成用真空蒸着装置におきまして、高品質の膜質を提供する蒸着装置として改良を加え、低価格のＡＲ専用蒸着装置、量産型フィルター用光学蒸着装置を販売しております。① 基板直接観測式光学モニターの装置展開② ＲＦイオンソースの着火性/メンテナンス性改善③ 省力化・全自動化への挑戦（ロードロック式カルーセルスパッタ装置） 電子部品・その他装置タブレット・スマートフォン等の移動体通信機器に用いられるSAWフィルター生産ラインの効率化を目指し、電極形成用蒸着装置、アッシング装置、周波数調整装置の開発も継続して進めています。また、生産ラインのボトルネックであるSiO2埋め込み用スパッタ装置の全面見直しにも着手しました。 当連結会計年度における研究開発費の総額は、455百万円となっております。

５ 【研究開発活動】当社グループは真空技術をベースに、メカトロニクス・薄膜形成技術等の先端技術により、特に情報通信分野に適合した新製品の開発に注力しております。当社グループの研究開発は要素技術、装置開発、プロセス開発を技術開発部が担当しております。一部門で行うことで、要素開発・装置開発とプロセスを直結し、開発効率を上げ、市場要望に対応した開発を図っております。また、重点開発には、これら基盤技術ならびに装置開発について、市場要請に迅速に対応するため、技術部門を中心としたメンバーから構成される社内横断的プロジェクト制を導入して、速やかに研究開発を推進しております。当連結会計年度における研究開発活動は次のとおりです。 水晶デバイス装置スマートフォン等の高性能化に伴う水晶振動子の極小化に向けて、搬送・測定・調整ユニットの開発を進めています。ウェハー状の周波数調整技術の開発を行い、既存の個片処理に比べてスループットの増大を実現します。また、新方式による水晶膜厚計（ＣＯÅＴＬＥＡＤＥＲ）をリリースしました。 光学装置スマートフォン等に搭載されているカメラモジュール等の光学部品分野における光学薄膜形成用真空蒸着装置におきまして、高品質の膜質を提供する蒸着装置として改良を加え、低価格のＡＲ専用蒸着装置、量産型フィルター用光学蒸着装置を販売しております。① 基板直接観測式光学モニターの装置展開② ＲＦイオンソースの着火性/メンテナンス性改善 電子部品・その他装置タブレット・スマートフォン等の移動体通信機器に用いられるSAWフィルター生産ラインの効率化を目指し、電極形成用蒸着装置、アッシング装置、周波数調整装置の開発も継続して進めています。また、ランプ用リフレクター向け成膜装置（蒸着+重合、スパッタ+重合）を開発・販売しました。 当連結会計年度における研究開発費の総額は、４億13百万円となっております。

６ 【研究開発活動】当社グループは真空技術をベースに、メカトロニクス・薄膜形成技術等の先端技術により、特に情報通信分野に適合した新製品の開発に注力しております。当社グループの研究開発は要素技術、装置開発、プロセス開発を技術開発部が担当しております。一部門で行うことで、要素開発・装置開発とプロセスを直結し、開発効率を上げ、市場要望に対応した開発を図っております。また、重点開発には、これら基盤技術ならびに装置開発について、市場要請に迅速に対応するため、技術部門を中心としたメンバーから構成される社内横断的プロジェクト制を導入して、速やかに研究開発を推進しております。当連結会計年度における研究開発活動は次のとおりです。 水晶デバイス装置スマートフォン等の高性能化に伴う水晶振動子の極小化に向けて、搬送・測定・調整ユニットの開発を進めています。また、ウェハー状の周波数調整技術の開発を行い、既存の個片処理に比べてスループットの増大を実現します。 光学装置スマートフォン等に搭載されているカメラモジュール等の光学部品分野における光学薄膜形成用真空蒸着装置におきまして、高品質の膜質を提供する蒸着装置として改良を加え、低価格のＡＲ専用蒸着装置、量産型フィルター用光学蒸着装置を販売しております。また、ヘビーユーザー向けに以下の２機種の新商品発表会を開催しました。 Ｇｅｎｅｓｉｓ－ＡＲ（ジェネシス エーアール） 複雑な表面形状部品への成膜に対応するＡＬＤ装置ＡＸＩＳ（アクシス） φ１７００蒸着装置（当社製）の約３倍の生産能力を有するロードロック式スパッタ装置 電子部品・その他装置ワンセグやＧＰＳ機能を付加したスマートフォン等に用いられている電子部品分野向けの高精度薄膜形成装置や高性能ドライエッチング装置の開発を継続して実施しております。新たなプロセスとしてＡＬＤによる色調調整装置、バリア膜形成装置の開発・販売を行っています。また、タブレット・スマートフォン等の移動体通信機器に用いられるＳＡＷフィルター生産ラインの効率化を目指し、電極形成用蒸着装置、アッシング装置、周波数調整装置の開発も継続して進めています。 当連結会計年度における研究開発費の総額は、４億15百万円となっております。

６ 【研究開発活動】当社グループは真空技術をベースに、メカトロニクス・薄膜形成技術等の先端技術により、特に情報通信分野に適合した新製品の開発に注力しております。当社グループの研究開発は要素技術、装置開発、プロセス開発を技術開発部が担当しております。一部門で行うことで、要素開発・装置開発とプロセスを直結し、開発効率を上げ、市場要望に対応した開発を図っております。また、重点開発には、これら基盤技術ならびに装置開発について、市場要請に迅速に対応するため、技術部門を中心としたメンバーから構成される社内横断的プロジェクト制を導入して、速やかに研究開発を推進しております。当連結会計年度における研究開発活動は次のとおりです。 水晶デバイス装置水晶振動子用周波数調整の高精度化を目的に周波数調整から封止までの工程を全て真空中で行う装置を開発いたしました。 光学装置スマートフォン等に搭載されているカメラモジュール等の光学部品分野における光学薄膜形成用真空蒸着装置におきまして、高品質の膜質を提供する蒸着装置として改良を加え、低価格のＡＲ専用蒸着装置、量産型フィルタ用光学蒸着装置を販売しております。また、スマートフォン用高性能レンズなど複雑な表面形状部品への成膜に対応するために、Genesis ARの開発を行い、コーティングメーカへのサンプル提供を開始いたしました。 電子部品・その他装置ワンセグやＧＰＳ機能を付加したスマートフォン等に用いられている電子部品分野向けの高精度薄膜形成装置や高性能ドライエッチング装置の開発を継続して実施しております。新たなプロセスとしてＡＬＤを採用し、色調調整装置、バリア膜形成装置の販売を開始いたしました。また、タブレット・スマートフォン等の移動通信機器に用いられるＳＡＷフィルター生産ラインの効率化を目指し、電極形成用蒸着装置、アッシング装置、周波数調整装置の販売を開始いたしました。 当連結会計年度における研究開発費の総額は、３億93百万円となっております。