ＴＯＷＡ

６【研究開発活動】当社グループは、高度化する半導体製造やレーザ加工技術に対応していくため、様々な先端技術分野をはじめ、今後の当社グループの事業の中心となる製品等の研究開発を進めております。当社グループの研究開発は、各技術部門及びINNOMS推進室を中心に推進されており、当連結会計年度における研究開発費総額は1,393百万円であります。 （１）半導体製造装置事業半導体製造装置事業に係る研究開発費は、1,270百万円であります。 （２）レーザ加工装置事業レーザ加工装置事業に係る研究開発費は、123百万円であります。

６【研究開発活動】当社グループは、高度化する半導体製造やレーザ加工技術に対応していくため、様々な先端技術分野をはじめ、今後の当社グループの事業の中心となる製品等の研究開発を進めております。当社グループの研究開発は、各技術部門及びINNOMS推進室を中心に推進されており、当連結会計年度における研究開発費総額は963百万円であります。 （１）半導体製造装置事業半導体製造装置事業に係る研究開発費は、885百万円であります。 （２）レーザ加工装置事業レーザ加工装置事業に係る研究開発費は、78百万円であります。

６【研究開発活動】当社グループは、高度化する半導体製造やレーザ加工技術に対応していくため、様々な先端技術分野をはじめ、今後の当社グループの事業の中心となる製品等の研究開発を進めております。当社グループの研究開発は、各技術部門及びINNOMS推進室を中心に推進されており、当連結会計年度における研究開発費総額は914百万円であります。 （１）半導体製造装置事業半導体製造装置事業に係る研究開発費は、875百万円であります。 （２）レーザ加工装置事業レーザ加工装置事業に係る研究開発費は、39百万円であります。

５【研究開発活動】当社グループは、高度化する半導体製造やレーザ加工技術に対応していくため、様々な先端技術分野をはじめ、今後の当社グループの事業の中心となる製品等の研究開発を進めております。当社グループの研究開発は、各技術部門及びINNOMS推進室を中心に推進されており、当連結会計年度における研究開発費総額は585百万円であります。 （１）半導体製造装置事業半導体製造装置事業に係る研究開発費は、558百万円であります。 （２）レーザ加工装置事業レーザ加工装置事業に係る研究開発費は、27百万円であります。

５【研究開発活動】当社グループは、高度化する半導体製造やレーザ加工技術に対応していくため、様々な先端技術分野をはじめ、今後の当社グループの事業の中心となる製品等の研究開発を進めております。当社グループの研究開発は、各技術部門及び坂東記念研究所を中心に推進されており、当連結会計年度における研究開発費総額は748百万円であります。 （１）半導体製造装置事業半導体製造装置事業に係る研究開発費は、713百万円であります。 （２）レーザ加工装置事業レーザ加工装置事業に係る研究開発費は、35百万円であります。

５【研究開発活動】当社グループは、高度化する半導体製造やレーザ加工技術に対応していくため、様々な先端技術分野をはじめ、今後の当社グループの事業の中心となる製品等の研究開発を進めております。当社グループの研究開発は、各技術部門及び坂東記念研究所を中心に推進されており、当連結会計年度における研究開発費総額は329百万円であります。 （１）半導体製造装置事業半導体製造装置事業に係る研究開発費は、288百万円であります。 （２）レーザ加工装置事業レーザ加工装置事業に係る研究開発費は、41百万円であります。

５【研究開発活動】当社グループは、高度化する半導体製造やレーザ加工技術に対応していくため、様々な先端技術分野をはじめ、今後の当社グループの事業の中心となる製品等の研究開発を進めております。当社グループの研究開発は、各技術部門及び坂東記念研究所を中心に推進されており、当連結会計年度における研究開発費総額は644百万円であります。 （１）半導体製造装置事業半導体製造装置事業に係る研究開発費は、629百万円であります。 （２）レーザ加工装置事業レーザ加工装置事業に係る研究開発費は、15百万円であります。